半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
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氙气厂家分享气体混合物的典型用途
一:用于仪表分析。纯气体和混合物常用于操作和校准分析仪表。零位气体(通常为纯物质,但也含有很少的或已知浓度的一种有关组分)被用于火焰离子探测仪表,它要求碳氢化合物含量相当低,以得到大偶读灵敏度。 “零位空气”可以用来调整仪表的零位,也可以用来提供一种低碳氢化合物含量的氧化剂,以供分析器作用。
第二:用于气体的估量,它通常含有较少的有关组分,在已知浓度水平时,允许将分析装置校准到与这个浓度值一致。
第三:用于消毒。乙烯氧化物稀释到12%时与碳氟化物-12,或者是10~20%的乙烯氧化物与二氧化碳一起混合通常用于消毒。另一种消毒剂是氧化物。这些混合物在美国都由美国环境保护管理机构进行管理。
以上信息由专业从事高纯氮气检测的中原海于2020/8/15 11:56:06发布
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