半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
高纯氙气 氙气厂家分享气体使用时所能接触的材料，不能有和此种气体不相容或起反应的材料。
使用人员要按照所使用气体质做的性必要的防护措施（穿戴hu照的安全眼睛、防毒面具、相应材料的防护服、皮手套等），废气要按照合适的方法处理。
气体要在保质期内使用，不可超期使用。
气体使用期间，如发现问题应立即停止使用，待问题调查清楚并解决后方可继续使用，如属于气体性质原因所引起，应终止使用，把剩余气体按合适方法处理。
标准气体的鉴别方法很多,但常用的主要有:气相色谱法、化学发光法、非色散红外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。纽瑞德小编为您介绍一下：
1气相色谱分析法
气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、气、氦气、、二氧化碳等无机气体,、、、及C3以上的绝大部分有机气体的分析.通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用,分析的含量范围为10-9~99.999%.所以,气相色谱法也是分析标准气体中应用多、普遍的方法。
2化学发光分析法
化学发光法是利用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行分析的方法,具有灵敏度高,选择性好,使用简单方便、快速等特点.因些,适用于硫化物、氮氧化物、氨等标准气体的分析。
3非色散红外分析法
非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的、二氧化碳、、氨、、、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量.非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。
4微量氧分析仪分析法
在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体(高纯氧除外)中都要求准确测定其中微量氧的含量.由于大气中含有大量的氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步,国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪。
标准气体属于标准物质，标准物质是高度均匀的,良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现,保存和传递量值的基本作用,在物理,化学,生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值,进行量值仲裁等...
以上信息由专业从事高纯甲烷的中原海于2024/10/22 12:15:01发布
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