半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
氙气,气,目前,国内共有特种气体生产企业150余家,多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司,占国内销售气体产品市场份额的70%左右。外资通过收购、新设等方式建立气体公司,占据着行业主导地位。2010年,德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售市场和83.08%的利润市场。中国气体行业的竞争实质上是国际气体行业巨头与国内民族气体工业企业的竞争。
特种气体其中主要有:甲烷、乙烯、正戊烷、正丁烯、正丁烷、异戊烷、异丁烯、异丁烷、、、一氧化氮、、一氟甲等。
问:液态氦气是不是氦气?
答:液态氦气就是在极低温度下气态氦气转化而来的液态氦,简称液氦。氦在通常情况下为无色、无味的气体,沸点-268.785℃,它的沸点是已知物质中低的(比氢气还要低)。所以当温度在4.18K时,气体氦气的性质同一般液体一样,加以适当的压力就转化为液态氦气了。实际上液态氦气的制作不仅仅需要低温,要知道氦气是一没有三相点的物质,想要得到液态氦气除了低温之外,还需要一定的压力。
问:液态氦气该如何贮存?一般的容器可以盛装液态氦气么?
答:液态氦气沸点极低,当温度降至2.178K时,就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦,此时的液态氦气被称为超流体。此时的液态氦气能过扩散穿过许多常用的实验室材料,例如玻璃、橡胶、PVC等。所以液态氦气的贮存需要使用的器皿。液氦以低温储存时,其蒸气压低,所以以低压容器即可储存,一般都以真空夹层容器储存,内罐材质採用SUS304,可耐低温。
气 气厂家分享气体混合物的典型用途用于。一种混于空气中的低浓度被用于肺的扩散实验。氧气与不同百分含量的二氧化碳的混合物,可用于血液分析气体分析器的校准。、氧化亚氮和某些化学性质活泼的气体,能单独和作为混合物用来作用。
用于核技数。0.95%异丁烷与氦的混合物和1.3%的丁烷与氦的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异丁烷与氦的混合气和10%的甲烷与的混合物都用作比例计数器用气体。
用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢,或等的气体。例如:氢气、氦气、气或氮气等气体,用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。,无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高,通常用来制造稼半导体。
以上信息由专业从事乙烯厂的中原海于2024/5/9 8:57:41发布
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