1.六氟化硫新气或六氟化硫再生气体中本身含有水分
在生产的过程当中混入的水分是六氟化硫新气中水分的主要来源，因为六氟化硫在合成之后，需要经过一系列的工艺：热解、水洗和碱洗以及干燥吸附等，复杂的生产环节也导致遗留了少量的水分。六氟化硫再生气体中的水分主要是再生过程中过滤器工作不正常或吸附剂更换不及时造成的，向设备进行充气抑或是的时候，水分就会进入设备的内部。此外六氟化硫气瓶在长时间存放的过程当中，倘若气瓶的密封不好的话，那么大气当中的水分便会直接向内进行渗透，从而使得六氟化硫气体当中的含水量增加。
2.六氟化硫设备在组装维修检查和充过程当中所混入的水分
在组装以及维修检查高压电器设备的时候，也许会把空气当中所包含的水分带入设备的内部中。即使设备在组装完毕之后仍需用高纯氮气冲洗以及抽真空干燥处理，但是，附着在设备的内壁上抑或是灭弧室元件以及拉杆等部件的水分也不会被全部排除干净。如果充管道的保存方式不当，对于管道的冲洗不完全的话，在进行充的时候也会造成水分进入到设备的内部。
3.绝缘材料以及设备当中的吸附剂其本身含有水分
环氧树脂浇注品时六氟化硫电气设备当中的固体绝缘的主要的材料，其含水量通常在0.1%～0.5%这个范围中，这些在固体绝缘材料中的水分会伴随着时间的流逝而慢慢释放掉。因为吸附剂饱和失效，平衡吸附量缺乏，对于增多的水分便没有办法再进行吸收，这便造成了设备当中六氟化硫气体含水量的增多。
4.大气中的水分经由六氟化硫电气设备密封薄弱环节而渗透到设备的内部
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